Sensofar共聚焦白光干涉儀|多焦面疊加

主動(dòng)照明多焦面疊加是一種為了測(cè)量粗糙的表面形狀而開(kāi)發(fā)的光學(xué)技術(shù)。這項(xiàng)技術(shù)基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 測(cè)量領(lǐng)域的廣泛專業(yè)知識(shí)，專門設(shè)計(jì)用于補(bǔ)充低放大率下的測(cè)量

BACKGROUND

Sensofar共聚焦白光干涉儀|多焦面疊加原理

主動(dòng)照明多焦面疊加技術(shù)利用了明場(chǎng)中存在景深的特點(diǎn)，

樣品只有在的特定 z 范圍中對(duì)焦。 景深會(huì)根據(jù)物鏡的數(shù)值孔徑或光源波長(zhǎng)而變化。

Z 高度的值是根據(jù)圖像的高對(duì)比度（清晰度或微小細(xì)節(jié)）來(lái)計(jì)算的

從而得出正確的對(duì)焦位置。