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白光干涉儀原理精妙,應(yīng)用多元

更新時間:2025-04-24點擊次數(shù):27
  白光干涉儀作為光學(xué)檢測領(lǐng)域的精密儀器,憑借其特殊的原理和廣泛的應(yīng)用,在眾多領(lǐng)域發(fā)揮著關(guān)鍵作用。
  白光干涉儀基于光的干涉原理運作。其核心在于利用白光這一多色光,當(dāng)光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準(zhǔn)直后,經(jīng)分光棱鏡分成兩束,一束光經(jīng)被測表面反射回來,另一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉。由于白光具有連續(xù)光譜,在一定光程差范圍內(nèi)會出現(xiàn)彩色干涉條紋,且只有在零光程差附近的極小范圍內(nèi)才會出現(xiàn)清晰、對比度高的干涉條紋。通過精確尋找零光程差位置,可實現(xiàn)高精度測量,測量精度以光波波長為單位,干涉條紋每移動一個條紋間距,光程差就改變一個波長(約10??米),這一特性使其測量精度遠(yuǎn)超其他測量方法。

  白光干涉儀的應(yīng)用極為廣泛。在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,它能精確測量芯片表面的形貌、薄膜厚度、臺階高度等參數(shù),對芯片制造工藝進(jìn)行監(jiān)控和質(zhì)量檢測,例如檢測光刻膠的厚度和表面平整度、刻蝕深度和表面粗糙度等,確保芯片性能和可靠性。
  在光學(xué)加工中,用于光學(xué)鏡片、透鏡、棱鏡等光學(xué)元件的表面形貌測量和質(zhì)量檢測,可測量表面粗糙度、曲率半徑、面形精度等參數(shù),幫助優(yōu)化光學(xué)加工工藝,提高光學(xué)元件質(zhì)量。
  汽車零部件制造也離不開該儀器,它能測量汽車發(fā)動機缸體、活塞、氣門等零部件的表面粗糙度、平面度、圓柱度等參數(shù),為汽車零部件制造提供高精度檢測手段。
  此外,在材料科學(xué)研究、微機電系統(tǒng)(MEMS)研究、航空航天領(lǐng)域等,它同樣大顯身手。在材料研究中,助力研究材料表面形貌、結(jié)構(gòu)和性能關(guān)系;在MEMS研究中,為器件設(shè)計、制造和性能評估提供技術(shù)支持;在航空航天領(lǐng)域,用于飛機發(fā)動機葉片表面形貌測量、飛機機身表面平整度檢測、衛(wèi)星零部件尺寸精度測量等。
  白光干涉儀以其精妙的原理和多樣化的應(yīng)用,成為眾多領(lǐng)域至關(guān)重要的檢測工具,推動著各行業(yè)的進(jìn)步與發(fā)展。
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