國產(chǎn)手動手動臺階儀 JS10B，擁有高精度、高分解能力，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測量。JS10B提供一個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區(qū)，方便定位特征區(qū)域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區(qū)域。

國產(chǎn)手動手動臺階儀 JS10B

應(yīng)用范圍：

▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量

▲ 各式薄膜等應(yīng)力測量

系統(tǒng)組成

▲ 臺階儀主機(jī)

▲ 電腦及顯示器

選配品

▲ 隔振臺

▲ 高度校準(zhǔn)標(biāo)樣

軟件界面

軟件界面

掃描圖

                                                                                                   18nm樣品

                                                                                                  68um樣品