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產(chǎn)品中心三維光學(xué)輪廓儀SensofarS neoxSensofar白光干涉儀高分辨表面分析解決方案
產(chǎn)品簡介
Sensofar白光干涉儀高分辨表面分析解決方案Sensofar白光干涉儀采用優(yōu)良的光學(xué)干涉技術(shù)，為微納米級表面形貌測量提供可靠解決方案，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、精密制造和材料科學(xué)研究領(lǐng)域。
Sensofar白光干涉儀采用優(yōu)良的光學(xué)干涉技術(shù)，為微納米級表面形貌測量提供可靠解決方案，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、精密制造和材料科學(xué)研究領(lǐng)域。Sensofar白光干涉儀高分辨表面分析解決方案
非接觸式測量：避免樣品損傷
多模式檢測：支持白光干涉、共聚焦和相移干涉模式
大范圍測量：Z軸測量范圍可達(dá)數(shù)毫米
快速掃描：單次測量時間可控制在秒級
光學(xué)系統(tǒng)：高精度物鏡組，可選2.5X-100X多種倍率
機(jī)械結(jié)構(gòu)：大理石基座配合精密導(dǎo)軌，確保穩(wěn)定性
探測系統(tǒng)：高靈敏度CCD傳感器
| 型號 | S neox | S mart |
|---|---|---|
| 垂直分辨率 | 0.1nm | 0.5nm |
| 水平分辨率 | 0.5μm | 1μm |
| 測量速度 | 5秒/次 | 10秒/次 |
| 最大樣品尺寸 | 200mm | 150mm |
| 工作距離 | 20-80mm | 15-50mm |
半導(dǎo)體晶圓表面缺陷檢測
MEMS器件三維形貌分析
光學(xué)元件表面質(zhì)量評估
金屬材料粗糙度測量
樣品準(zhǔn)備：確保待測表面清潔無污染
參數(shù)設(shè)置：根據(jù)樣品特性選擇合適的光學(xué)模式和放大倍率
自動對焦：使用軟件自動對焦功能獲取清晰圖像
數(shù)據(jù)分析：通過配套軟件進(jìn)行三維重建和參數(shù)計算
定期清潔光學(xué)元件
保持工作環(huán)境溫濕度穩(wěn)定
避免震動和強(qiáng)磁場干擾
結(jié)語：
Sensofar白光干涉儀以可靠的測量性能和靈活的應(yīng)用配置，為工業(yè)檢測和科研工作提供有力支持。如需了解更多技術(shù)細(xì)節(jié)或測試服務(wù)，歡迎聯(lián)系當(dāng)?shù)丶夹g(shù)支持團(tuán)隊。Sensofar白光干涉儀高分辨表面分析解決方案
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