產(chǎn)品概述

Zygo光學(xué)輪廓儀：微納表面測量方案  Zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀采用非接觸式測量技術(shù)，為微納米級(jí)表面形貌檢測提供有效解決方案，適用于半導(dǎo)體、光學(xué)元件和精密制造等領(lǐng)域。

性能特點(diǎn)

• 多模式測量：支持白光干涉和相移干涉模式

• 寬范圍測量：垂直測量范圍可達(dá)10mm

• 快速掃描：單次測量時(shí)間可控制在秒級(jí)

• 高重復(fù)性：測量結(jié)果穩(wěn)定可靠

用材與工藝

• 光學(xué)系統(tǒng)：高精度干涉物鏡組

• 機(jī)械平臺(tái)：花崗巖基座配合空氣隔振

• 探測系統(tǒng)：高分辨率CCD傳感器

• 控制系統(tǒng)：模塊化電子系統(tǒng)

參數(shù)表

典型用途

• 晶圓表面缺陷檢測

• 光學(xué)鏡面面形測量

• MEMS器件三維形貌分析

• 材料表面粗糙度評估

使用說明

1. 樣品準(zhǔn)備：確保待測表面清潔無污染

2. 參數(shù)設(shè)置：選擇合適的光學(xué)模式和放大倍率

3. 自動(dòng)對焦：使用軟件輔助對焦功能

4. 開始測量：啟動(dòng)自動(dòng)掃描程序

5. 數(shù)據(jù)分析：通過配套軟件處理測量結(jié)果

維護(hù)建議

• 定期清潔光學(xué)元件

• 保持實(shí)驗(yàn)室環(huán)境穩(wěn)定

• 避免設(shè)備受到振動(dòng)影響

• 定期進(jìn)行設(shè)備校準(zhǔn)

結(jié)語：
Zygo光學(xué)輪廓儀以可靠的測量性能，為工業(yè)檢測和科研工作提供支持。如需了解更多信息，歡迎咨詢專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)。Zygo光學(xué)輪廓儀：微納表面測量方案