在材料科學、生物研究、電子制造及教育等領域，對樣品進行微納米尺度的觀察是一項基本需求。傳統(tǒng)的大型掃描電子顯微鏡（SEM）往往對場地、環(huán)境和技術操作有相應要求。澤攸科技的ZEM15臺式掃描電子顯微鏡，則提供了一種進入微觀世界的方式。它集成了電子光學系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和控制系統(tǒng)于一個緊湊的桌面尺寸機身內，降低了用戶的使用門檻。

從產品設計上看，ZEM15結構緊湊，外觀簡潔。其鏡體部分采用了金屬材料，保證了設備的穩(wěn)定性和屏蔽性。內部核心部件包括場發(fā)射電子槍、電磁透鏡、掃描線圈以及半導體探測器等。其樣品室設計注重便捷性，樣品臺可移動范圍能滿足大部分常規(guī)樣品的觀察需求，加載樣品的過程相對簡化，無需復雜的抽真空等待過程。

該儀器的性能特點在于其采用冷場發(fā)射電子源，這項技術幫助系統(tǒng)在獲得圖像分辨率方面有所表現。相較于某些臺式電鏡的鎢燈絲或熱場發(fā)射技術，冷場發(fā)射源具有光源亮度較好和能量 spread 較窄的特點，這有助于獲得更清晰的圖像。ZEM15通常配備背散射電子（BSE）和二次電子（SE）探測器，可以同時獲取樣品成分襯度和表面形貌襯度信息。

基本參數概覽：

• 型號： ZEM15

• 電子槍類型： 冷場發(fā)射電子槍

• 分辨率： 可提供優(yōu)于一定數值的高真空模式分辨率（請以最新參數為準）

• 加速電壓： 多檔可調（如1kV - 15kV或更寬范圍）

• 放大倍數： 寬范圍連續(xù)可調（從低倍到高倍，如10x - 200,000x或更高）

• 樣品室尺寸： 可容納適度尺寸的樣品

• 樣品臺： 五軸優(yōu)中心馬達控制（X, Y, Z, 傾斜, 旋轉）

• 真空系統(tǒng)： 集成分子泵，真空度可達高真空范圍

其用途廣泛，適用于金屬材料斷口分析、陶瓷燒結體觀察、礦物成分研究、納米材料形貌表征、半導體芯片缺陷檢測、生物樣品脫水處理后的觀察以及高等院校的教學演示等。

使用前，需將儀器安置在穩(wěn)固、無強磁場干擾的實驗臺上。開機后，系統(tǒng)會自動完成抽真空等準備工作。樣品制備是關鍵步驟，對于非導電樣品，通常需要進行噴金或噴碳處理以消除荷電效應。將處理好的樣品放入樣品室，在軟件上選擇加速電壓、探針電流和掃描速度等參數，即可開始尋找視野并聚焦成像。